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G-43Y6型高精密单面光刻机

简介—— 一 、设备概述:G—43Y6型光刻机是根据市场需求研发的产品,通常情况下为Φ6",对被光刻基片的外形、厚度要求较低,可对

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关于成都光刻机——G-43Y6型高精密单面光刻机设备介绍如下:

一 、设备概述:

G—43Y6型光刻机是根据市场需求研发的产品,通常情况下为Φ6",对被光刻基片的外形、厚度要求较低,可对多种材料的基片进行光刻。它特别适用进行一次光刻的产品,可制作声表面器件、可控硅、小液晶显示器、传感器、二极管、园光栅、编码盘等。按用户要求可提供圆形承片台或方形承片台,不管哪一种承片台,如果基片厚度≤2mm,承片台都能实现“真空密着”曝光,加之光均匀性好,所以大大提高光刻质量。


二、主要技术参数:

1. 操作方式:手动。

2. 曝光模式:接触式曝光。

3. 曝光面积曝光面积:150mm×150mm。

4. 紫外光源:g线(436nm)和i线(365nm)

5. 实现“真空密着”曝光,但基片厚度≤2mm。

6. 分辨率:Φ100mm范围内≤2um

7. 照明不均匀性: ±3%( Φ100mm范围);±5%( Φ150mm范围);

8. 曝光光源:350W汞灯(进口);

9. 曝光强度:≤20mW/cm2;

10. 光源平行性:≤3.5°;

11. 样品尺寸:Φ150mm。

三、结构简介:

G—43Y6型光刻机主要由以下部份组成:

1、蝇眼曝光头:

曝光灯采用GCQ350W型超高压直流球形汞灯,紫外光源:g线(436nm)和i线(365nm)非常有利于光刻,光的均匀性很好,不均匀性测量在Φ150mm范围内≤±5%,冷却方式为风冷(内装排风扇)。

在该机底座上装有欧姆龙公司生产的时间继电器,0~999.9秒内控制曝光快门。

汞灯随使用时间增长而逐渐老化,照度逐渐降低,用户可改变承片台高度,而保持恒光强,也可改变汞灯电流大小保持恒光强。

2、 电器控制系统:

由各种电器元件组成。

四、设备操作说明:

1) 打开电源开关(面板上标“电源”开关),按下“汞灯”按钮汞灯打开,“汞灯”指示灯亮,待汞灯亮度正常后(一般需要15分钟以上),可以进行下一步的操作。

2) 开启真空泵电源。

3) 转动曝光头,使曝光头平行于操作者,打开板架压紧,翻起板架。

4) 按下“吸片”按钮,“吸片”指示熄灭,放基片到相应承片台上(注意放基片的位置和方向),定好位后,再按“吸片”按钮,“吸片”指示灯亮,吸片完成。

5) 按下“吸板”按钮,“吸板”指示熄灭,放掩膜版到相应板架上(注意放掩膜版的位置和方向),定好位后,再按“吸板”按钮,“吸板”指示灯亮,吸板完成。

6) 翻下板架,转动板架压紧块,锁紧板架

7) 拨动旋钮,指向“片升”,基片上升,调节气缸上的定位螺钉,可以控制基片和掩膜版之间的间隙。

8) 按下“密着”按钮,“密着”指示灯亮,调整密着真空大小,使版、片在大气压作用下紧密贴合好。

9) 转动曝光头,使曝光头正对操作者,也就是使曝光头在板架正上方。

10) 调整好你所需的曝光时间,按下“曝光”按钮,“曝光”指示灯亮,进行曝光。

11) “曝光”指示熄灭,曝光结束。

12) 拨动旋钮,指向“片降”,基片下降。

13) 转动曝光头,使曝光头平行于操作者,打开板架压紧,翻起板架。

14) 按下“吸片”按钮,“吸片”指示熄灭,取下基片,曝光完成。

如果您对这类产品有需要,可与我司联系:13908187709。



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