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G-43Y4型高精密单面光刻机

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广西快3开奖结果 一、概述:

G—43Y4型光刻机是根据市场需求研发的产品,其最大的特点是曝光面积极大,通常情况下为Φ6",对被光刻基片的外形、厚度要求较低,可对多种材料的基片进行光刻,它特别适用一次光刻的产品,可制作声表面器件、可控硅、小液晶显示器、传感器、二极管、园光栅、编码盘等,按用户要求可提供圆形承片台或方形承片台。承片台都能实现“真空密着”曝光,加之光均匀性好(Φ150mm范围内≤±7%),所以大大提高光刻质量。

根据用户要求,可在G-43Y4型光刻机外加装对准设置,以进行版对片的精密对准曝光。

二、主要技术参数:

1. 曝光面积Φ4"。

广西快3开奖结果 2. 实现“真空密着”曝光,(通过调整真空度能实现硬接触、软接触或微力接触曝光)。但基片厚度≤2mm。

广西快3开奖结果 3. 曝光最小分辨率为3μm。

4. 可以为用户制作具有预定位机构的专用承片台,片对版的预定位精度≤±0.1mm。

广西快3开奖结果 5. 曝光头用灯为GCQ200Z型超高压直流球形汞灯,光强≤10mw/cm2,光的不均匀性在Φ100mm范围内≤±4%。

广西快3开奖结果 可以通过调节承片台相对于曝光头距离来实现恒光强曝光。也可以通过调节直流汞灯电流大小来改变光强。

三、结构简介:

广西快3开奖结果 G—43Y4型光刻机主要由以下部份组成:

广西快3开奖结果 1. 蝇眼曝光头:

广西快3开奖结果 曝光灯采用GCQ200Z型超高压直流球形汞灯,这种汞灯的优点是近紫外线3650 Å,4047Å,4385 Å相当丰富,用365测头测量,显示光强可达20mw/cm2以下,非常有利于光刻,光的均匀性很好,不均匀性测量在Φ100mm范围内≤±4%,冷却方式为风冷(内装排风扇)。

广西快3开奖结果 在该机底座上装有进口的欧姆龙时间继电器,0~999.9秒内控制曝光快门。

广西快3开奖结果 汞灯X、Y、Z调中装置设在曝光头上面,以便用户进行光强度和光均匀性调节。

广西快3开奖结果 汞灯随使用时间增长而逐渐老化,照度逐渐降低,用户可改变承片台高度,而保持恒光强,也可改变汞灯电流大小保持恒光强。

2.承片台:

广西快3开奖结果 该机只配一种尺寸的承片台,承片台大小和形状,是根据用户要求提供,可以提供圆形和方形承片台。而且为用户提供二个相同承片台。当一个承片台装上基片和掩膜版进行曝光时,另一个承片台在进行下一片的装卸工作,从而提高了生产量。

不管哪一种承片台,都具有真空吸片动作和真空密着功能。

〈真空吸片〉动作,保证用户取片时,不因片粘在版上,后因脱落而摔坏片。

广西快3开奖结果 〈真空密着〉功能,是保证版和片之间的良好接触,不仅提高了光刻质量,而且保证承片台从装换片位置放到曝光位置时,版片位置不会移动,更不会让版脱落而损坏。

广西快3开奖结果 调节真空密着度大小(有真空表指示)。

广西快3开奖结果 ≤-0.05Mpa为硬接触

≤-0.05~-0.015Mpa为软接触

广西快3开奖结果 ≤-0.015Mpa为微力接触

根据用户要求,可以作成有预定位机构的承片台,其预定位精度≤±0.1mm。

广西快3开奖结果 3.电器控制系统:

广西快3开奖结果 1) 打开电源开关(面板上标“电源”开关)。此时汞灯自然打开,指示汞灯亮。接上真空源,快门被关上。待汞灯亮度正常后(一般需要15分钟以上),可以进行如下操作。

2) 关上二个承片台的真空吸片动作和真空密着功能,观察系统真空表上的真空度,是否≤-0.07Mpa,否则,就要查找真空低的原因(是否有漏气现象)。

广西快3开奖结果 3) 放基片到任一承片台上(注意放基片的位置和方向),按与该承片台相应的按钮进行“真空吸片”,然后放掩膜版到基片上(当然也要注意版放的位置和方向),按相应的真空“密着”按钮。调整密着真空大小。使版、片在大气压作用下紧密贴合好。然后将承片台放到可以升降的台上。调整好你所需的曝光时间,按“曝光”按钮进行曝光。




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